MEMS非接觸式溫度傳感器的特點(diǎn)以及使用范圍介紹

　　歐姆龍?jiān)趪?guó)際福利機(jī)械展上推出新型的非接觸式溫度傳感器。這種傳感器在檢測(cè)部位應(yīng)用了歐姆龍獨(dú)特的MEMS技術(shù)，具有可感測(cè)紅外線的高靈敏度。接下來(lái)歐姆龍代理商鼎悅電子對(duì)MEMS非接觸式溫度傳感器的特點(diǎn)以及使用范圍做具體介紹。

　　由于MEMS技術(shù)，傳感器元件被縮小到150微米，將傳感器元件排成16*16的陣列時(shí)，芯片尺寸只有6mm見方，據(jù)稱為"業(yè)界最小水平"，靈敏度提高至原來(lái)的7倍。

　　鼎悅電子表示，非接觸溫度傳感器具有攝像頭及熱釋傳感器所不具備的特點(diǎn)，即對(duì)照明環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)，可感應(yīng)到處于靜止?fàn)顟B(tài)的人。但因其靈敏度較低，需要縮小感應(yīng)區(qū)域。因此，要在較大的空間內(nèi)進(jìn)行檢測(cè)，需要安裝用來(lái)驅(qū)動(dòng)非接觸溫度傳感器的機(jī)構(gòu)以及多個(gè)傳感器，所以目前尚未普及。

　　普通的非接觸溫度傳感器元件，很多紅外線都會(huì)穿透紅外線吸收膜，因而靈敏度較低。此次通過采用在開發(fā)液晶用背照燈時(shí)培育的光波控制技術(shù)，開發(fā)出了可使紅外線匯聚到紅外線吸收膜的微鏡。開發(fā)這種微鏡時(shí)，研究人員在以往很難形成曲面的硅晶圓上制作出了自由曲面。 由于可在硅晶圓上形成微鏡，因此能在晶圓級(jí)別上使傳感器元件與鏡片進(jìn)行真空接合，從而減少釋放到空氣中的熱量，以此提高靈敏度?？稍诒３猪憫?yīng)速度不變的情況下將靈敏度提高至原來(lái)的7倍。這樣，便可使感應(yīng)區(qū)域擴(kuò)大至原來(lái)的7倍。據(jù)介紹，芯片的靈敏度為350V/W，響應(yīng)速度為3ms左右。

　　MEMS非接觸式溫度傳感器的使用范圍：

　　MEMS非接觸式溫度傳感器可以廣泛應(yīng)用于身邊的節(jié)能型家電、BEMS、HEMS、甚至工廠自動(dòng)化領(lǐng)域。感應(yīng)區(qū)域擴(kuò)大至原來(lái)的7倍后，可在店鋪及車站等場(chǎng)所，實(shí)時(shí)檢測(cè)人群的擁擠情況，由此可將非接觸溫度傳感器用于空調(diào)控制用途，還能用于檢測(cè)夜間有人闖入、甚至對(duì)靜止人物也能檢測(cè)高靈敏度的人體感應(yīng)傳感器。